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熔融石英

熔融石英.png

玻璃参数及性能

玻璃厚度

0.2mm~1.1mm

表面粗糙度

<1.5nm

光透视比τvD65in%

91.00%

平均线性热膨胀系数n(静态测量)

0.55(20°C-300°C/10-6K-1)

转变温度 Tg

1120

1MHz下介电常数εr

3.8

折射率 n

1.4584

密度ρ(40°C/h下退火)

2.20 g/cm3

可供晶圆尺寸

2"方片、6"、8"圆片

损耗角正切tgδ/介质损耗

3×10-4(20Ghz)

2×10-4(10Ghz)


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