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高膨胀玻璃

无碱玻璃.png

玻璃参数及性能

玻璃厚度

0.5mm~1.5mm

表面粗糙度

<1nm

光透视比τvD65in%

92.00%

平均线性热膨胀系数n(静态测量)

9.4(0°C-300°C/10 -6 K -1 )

转变温度 Tg

536℃

1MHz下介电常数εr

7

折射率 n

1.5229

密度ρ(40°C/h下退火)

2.56 g/cm3

可供晶圆尺寸

2"方片、6"、8"圆片

损耗角正切tgδ/介质损耗

2.6×10 -3 (1Mhz)

5.9×10 -3 (1Ghz)

8.4×10 -3 (5Ghz)



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